摘要隨著IC隨著生產技術的不斷發展，對無塵車間生產環境等配套系統的要求也越來越嚴格。本文81".12",IC無塵車間設計中無塵車間的形式和送風方式.空氣處理及溫濕度保證措施、懸浮分子污染物、(AMC)綜合分析評價了無塵車間的控制和排煙設計方案。
集成電路(IC)它是一種集多種高新技術于一體的高科技產品，幾乎存在于所有工業部門，對國民經濟的發展起著重要作用“倍增器”因此，先進被視為戰略產業。與此同時，它也被用作戰略產業。IC產業也是世界上發展快的產業.競爭激烈的行業?？紤]到下游產品的需求和生產成本，IC不斷向特征尺寸縮小、硅片直徑增大的方向發展。目前國際上有8個?！?0.25-0.以18微米為代表的工藝已進入大生產，以12微米為代表的工藝已進入大生產”.0.15-0.以13微米為代表的工藝也開始進入大生產，研究工作已進入納米階段，70納米.40納米的設備已在實驗室成功制備。
隨著工藝牛產技術的不斷發展，IC生產對環境等配套系統的要求也越來越嚴格，說到環境首當其沖的是無塵車間，8”.12”IC生產無論潔凈度如何.溫濕度還是空氣中的分子級污染物？(AMC).防微振.防靜電等非常嚴格的要求，一些嚴格的要求甚至挑戰了一些傳統的做法。
1無塵車間形式
1.無塵車間從平面布置一般有三種形式：開放式(ballroomtype).港灣式(baycliasetype).島形布置
以上三種形式的無塵車間各有優缺點，IC前工藝生產廠家通常采用港式和開放式無塵車間，港式無塵車間5”.6”IC廠家使用較多，其工藝設備為穿墻式:8”.12”IC開放式無塵車間用開放式無塵車間加微環境(mini-environment)的方式。開放式無塵車間的顯著優勢首先是工藝布局的靈活性，這一點尤為重要，因為今天[C生產技術發展迅速，產品本身的要求、工藝生產工藝和生產設備都在不斷變化，而且IC生產工廠的施工周期從設計到工藝設備的安裝通常需要一年半左右。在此期間，丁藝的生產技術和工藝需要不斷調整和更新。只有這樣才能保證其生產技術在投產時會落后。即使投產后，也會因為產品而尷尬.市場和生產技術的變化需要對生產線進行改造，以調整產品和生產能力。其次8”.12”IC生產對環境特別是潔凈度要求極為嚴格，硅片暴露區（加工工藝）一般要求1.5級（209）E，O.lμm，1級)。采用開放式無塵車間加微環境再配套自動物料處理系統automatedmaterialhandlingsystem.AMHS)，一方面，口腔可以使操作人員和其他污染源與硅片完全隔離，另一方面，生產自動化的提高非常有利于提高硅片的成品率。開放式無塵車間加微環境，工藝生產只要求微環境有嚴格的清潔度，而開放式無塵車間只需保證5-6級，嚴格要求的清潔度面積大大降低，保證清潔度所需的循環空氣量也相應減少，能耗大大降低。一般來說，開放式無塵車間加微環境的能耗僅為港式無塵車間的1/3左右。在實際工程中，微環境與開放式無塵車間完全分離。此外，開放式無塵車間結構簡單，動力設備減少，從設計到施工簡單快捷，可縮短施工時間。
采用開放式無塵車間環境的關鍵區域是微環境，保證硅片加工過程所需的清潔度。微環境通常如圖4.圖5所示。
圖4所示的微環境送風由無塵車間送風系統提供，缺點是不靈活，不方便移動或增加工藝設備。目前8”.12”IC生產線使用的微環境基本以圖5的形式(光刻機除外)。所有微環境均由工藝設備自帶，與工藝設備緊密結合，與裝載平臺緊密結合.前開口傳遞箱(frontopeningunifiedpods．FOUP).懸掛傳輸系統(ovcerheadhoisttransport，OHT)有機結合。微環境系統的風機直接吸收室內空氣，通過微環境系統的風機直接吸收室內空氣ULP過濾器處理后垂直吹，以保證硅片暴露區域的嚴格清潔度要求。微環境中的送風截面風速通常保持在0.2-0.45m/s，確保過濾器出口斷面上任何一點的風速不超過平均風速±20%，風速過高會使微環境溫度偏高。微環境風機應為變頻風機，以適應過濾器的阻力變化，所用過濾器的效率≥99.99995%(MPPS)。為避免周圍“臟”與周圍環境(開放式無塵車間)相比，微環境應保持不少于1.25Pa正壓，這可以通過調節底部的回風閥來實現。8”.12”IC生產對防微振要求很高，微環境中使用的風機靠近生產設備，因此風機和設備應采取有效的減振措施，風機本身產生的振動為3-100Hz頻段內任何頻率點的振動位移幅值≤1.25μm。
1.2無塵車間一般有三種形式：集中送風系統(centralsystem).隧道系統(tunnelsysterm.FFU系統(fanfilterunitsystem)，如圖6.7.8。
這三種送風系統各有特點，從不同的角度會得出不同的結論，所以不能簡單的說哪個好哪個壞。送風系統的采用主要取決于業主.設計師關注哪些方面。FFU近年來，該系統得到了越來越廣泛的應用，尤其是在亞太地區。中國也不例外，已建和在建的8個”.12”IC幾乎所有的廠房都使用FFU系統，很多5”.6”IC近年來，生產廠房也被采用FFU系統。究其原因，除了習慣，除了習慣。.除了經驗等非技術因素外，還有以下原因：
a)靈活性：在三個系統中，FFU系統的靈活性是的，特別適合今天IC隨著生產技術的快速發展，對潔凈度生產技術的發展，對格。隧道系統幾乎不靈活，隧道系統以操作區作為送風區.設備區作為回風空氣循環系統，但8”.12”IC幾天前，廠房無塵車間基本采用Ballroom方式，，f：分為操作區和設備區，因此隧道系統不適用J；集中送風系統有一定的靈活性，但潔凈系統改造時必須停機.停產。若要提高局部區域的清潔度，除無塵車間頂部外，還要增加無塵車間的清潔度HEPA/ULPA除過濾器外，還需要增加循環機組，使改造難度大，對生產影響大；使用過濾器，還需要增加循環機組，使改造難度大，對生產影響大；FFU系統，局部增加FFU臺數或移動FFU位置容易實現，而且可以在不停產的情況下進行，對生產幾乎沒有影響。
b)調控：與集中式送風系統相比，FFU系統各區空氣交叉相對較少，可實現高精度度控制。隨著電機和網絡控制技術的發展，FFU單個控制很容易實現，每個控制都很容易，每個控制都很容易，FFU出風速度幾乎可以在一定范圍內隨意調節，很容易解決大跨度無塵車間遠近端氣流不均勻的問題。FFU也可根據實際使用需要停止或少打開一部分。
c)可靠性:只要集中送風系統中的送風機組出現故障，除非有備用機組可以立即投入運行，否則無法保證整個系統的清潔度；對于隧道系統，一旦循環機組停止運行，循環機組所承擔的清潔區域的清潔度.溫濕度不能保證，生產必須停止；而且，FFU系統的風險要小得多，也就是說，系統的風險要小得多