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        凈化車間詳解

        作者: 點擊:845 發布時間:2022-08-09

        凈化車間材料為凈化車間墻,頂板一般為50mm厚夾芯彩鋼板制造,具有美觀、剛性強、保溫性能好、施工方便等特點?;⌒谓?、門、窗框一般采用特殊氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流板地板或先進耐磨塑料地板,有防靜電要求,可選擇防靜電型。

        送回風管道采用熱渡鋅板,具有良好的凈化保溫效果PF泡沫塑料板,美觀干凈,沖孔網板采用烤漆鋁板。

        凈化車間的主要功能是控制產品(如硅芯片)接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度,使產品能夠在良好的環境空間中生產和制造。這個空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化水平主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定的。也就是說,所謂無塵不是沒有灰塵,而是控制在非常微量的單位上。當然,與我們常見的灰塵相比,本標準中符合粉塵標準的顆粒非常小,但對于光學結構來說,即使是一點灰塵也會產生很大的負面影響,因此無塵是光學結構產品生產中不可避免的要求。

        每立方米將小于0.3微米粒徑的粉塵數量控制在3500以下,達到國際無塵標準A級。目前,芯片級生產加工的無塵標準對粉塵的要求高于A級,主要用于一些芯片生產。μm以下粉塵數量嚴格控制在每立方米1000以內,俗稱行業1K級別。

        換氣次數:1萬級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。

        壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

        平均風速:10級,100級0級.3-0.5m/s;

        溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。

        濕度45-65%;GMP粉末車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高,以免產生靜電。

        噪聲≤65dB(A);

        新風補充量為總送風量的10%-30%;

        照度300LX

        氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?!仫L百葉窗→重復上述過程的初始凈化可以達到凈化的目的。


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